简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、铬、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。 主要应用在: 1、微电子领域 2、平面显示器用靶材 3、存储技术用靶材等 无相关信息
2022-04-07 18:30 阅读次数:
简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、铬、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。 主要应用在: 1、微电子领域 2、平面显示器用靶材 3、存储技术用靶材等 无相关信息